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+关注 0人关注 微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子龙8娱乐城官网(半导体制造龙8娱乐城官网)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等龙8娱乐城官网制作的高科技电子机械器件。
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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。 微机电系统是在微电子龙8娱乐城官网(半导体制造龙8娱乐城官网)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等龙8娱乐城官网制作的高科技电子机械器件。  
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